Nanotribological, nanomechanical and interfacial characterization of atomic layer deposited TiO2 on a silicon substrate
15 December 2015
| Jussi Lyytinen, Xuwen Liu, Oili M.E. Ylivaara, Sakari Sintonen, Ajai Iyer, Saima Ali, Jaakko Julin, Harri Lipsanen, Timo Sajavaara, Riikka L. Puurunen, Jari Koskinena